石墨装载室:用于支撑太阳能工业和PECVD车,装载硅片,制备中高效过滤器,保证吹出的空气满足净化要求。石墨舟的工作原理:空气经过高效过滤后,均匀地压入阻尼层,使洁净的空气垂直单向送入负载工作区,从而保证工作区的洁净度满足工艺要求。操作员在干净的环境中将硅晶片安装在石墨舟上。石墨舟的主要特点:1。它能准确定位石墨舟承载板的托架;2.全不锈钢制造,整机结构牢固可靠;3.采用三台GK系列高效空气过滤器;4.PECVD运载车内部可倾斜15度或旋转180度;5.净化风机的噪音小于50dB。6.确保工作区域的清洁度达到100级工艺要求。